教師姓名
楊鎮遠
聯絡人
楊鎮遠 (6215)
開課單位
化工與材料工程系
先進半導體製程設備實務課程
【課程簡介】
本課程與台積電新人訓練中心(NTC)合作，開設「先進半導體製程設備實務課程」微學分課程：
- 搭配台積電新人訓練中心(NTC) 規劃課程，幫助學生掌握最先進的半導體製程設備實務；
- 課程內容：「半導體機台製程基礎」及「半導體設備元件基礎」
- 介紹半導體產業發展趨勢，幫助學生取得進入產業界基本門檻能力；
- 介紹台積電企業組織；
- 藉由分組討論與報告，分享學習成果。
課程大綱及進度
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日期 |
時間 |
課程名稱/講師 |
課程大綱 |
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1/22(一) |
08:10~12:00 |
半導體機台製程基礎 講師：楊鎮遠 |
1. 半導體製程基礎： (1). CVD製程介紹 (2). PVD製程介紹 (3). EPI 製程簡介 (4). DIF 製程介紹 (5). IMP製程介紹
2. 機台教室參觀
3. 量測介紹： (1). 基本觀念介紹 (2). CDSEM (3). OCD熱性質 |
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1/23(二) |
08:10~12:00 |
半導體機台製程基礎 講師：楊鎮遠 |
(1). Fab 3 層式結構 (2). Utility & Safety (3). 機台演進與構造
(1). 傳送/反應室 (2). 機台水電氣 (3). 元件 (RF/Gas/ESCTEMP/真空/Chemical)
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1/24(三) |
08:10~12:00 |
半導體元件基礎 講師：楊鎮遠 |
(1). EFEM (2).傳送機購 (3). Load Port (4). AMHS
(1). RF
(1). 三用電表介紹 (2). 靜電/放電
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1/25(四) |
08:10~12:00 13:10~15:00 |
半導體元件基礎 講師：楊鎮遠 |
1. Temp: (1).冷卻/加熱元件 (2). chiller/ 致冷晶片 (3). ESC
2. Chemical/MFC (1). Filter 介紹 (2).熱感式 MFC (3).壓差式
3. Vacuum: (1). Pump (2). Valve
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